氦質譜檢漏	該技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在檢漏中*常用的兩種方法
真空封泥檢測法	將真空泥逐個封住可疑漏點，注意觀察真空度的變化，假如貼上真空封泥真空度提升很快，取掉有明顯下降，說明這是一個漏點。這種方法在實際應用中，采用的比較少。
真空計檢漏法	有些真空計的讀數(shù)，與氣體種類有關，比如熱偶計，電離真空計。選用適當?shù)臍怏w或液體做示漏物質，這些真空計便成了探測器，一般鍍膜機上都有真空計，使用起來很方便，也是常用到的一種檢漏方法。用于熱偶計的示漏物質有，二氧化碳，丁烷，酒精等熱偶計反應較慢，觀察要很仔細。用于電離計的示漏物質有氦，氬，酒精等。
高頻火花檢漏	這種方法僅適用于玻璃真空系統(tǒng)。先將系統(tǒng)抽成真空，高頻火花檢漏儀的火花端沿著玻璃表面移動，火花集中成束形成亮點處即是漏孔位置。